Электроника : 36 Плазмихимическое и ионно-химическое травление микроструктур / В. Ю. Киреев, Б. С. Данилин
Material type: TextLanguage: Russian Publication details: Москва : Радио и связь, 1983.Description: Выпуск 36Subject(s): DDC classification:- 621.382
Contents:
Выпуск 36 (1983, 128 с.) Плазмихимическое и ионно-химическое травление микроструктур
Item type | Current library | Collection | Call number | Status | Date due | Barcode |
---|---|---|---|---|---|---|
Books | Institute of Radiophysics & Electronics | General | 621.382 К430 (Browse shelf(Opens below)) | Available | IRE15159 |
Выпуск 36 (1983, 128 с.) Плазмихимическое и ионно-химическое травление микроструктур
There are no comments on this title.