Электроника : 36 Плазмихимическое и ионно-химическое травление микроструктур /
Киреев, В. Ю.
Электроника : 36 Плазмихимическое и ионно-химическое травление микроструктур / В. Ю. Киреев, Б. С. Данилин - Москва : Радио и связь, 1983. - Выпуск 36
Плазмихимическое и ионно-химическое травление микроструктур Выпуск 36 (1983, 128 с.)
Электроника--36 Плазмихимическое и ионно-химическое травление микроструктур
621.382
Электроника : 36 Плазмихимическое и ионно-химическое травление микроструктур / В. Ю. Киреев, Б. С. Данилин - Москва : Радио и связь, 1983. - Выпуск 36
Плазмихимическое и ионно-химическое травление микроструктур Выпуск 36 (1983, 128 с.)
Электроника--36 Плазмихимическое и ионно-химическое травление микроструктур
621.382