Химико-технологическая аппаратура микроэлектроники /
Мягков,А.Т.
Химико-технологическая аппаратура микроэлектроники / А.Т.Мягков, Е.М.Корсетов - Москва : Энергия , 1979. - 312 с.
Библиогр.:с.305-310
Микроэлектроника
621.3.049
Химико-технологическая аппаратура микроэлектроники / А.Т.Мягков, Е.М.Корсетов - Москва : Энергия , 1979. - 312 с.
Библиогр.:с.305-310
Микроэлектроника
621.3.049