| 000 | 01056cam a2200229Ka 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 7390 | ||
| 003 | CONS | ||
| 005 | 20230315105000.0 | ||
| 008 | 070101s rus d | ||
| 041 | 0 | _arus | |
| 082 | 0 | 4 | _a621.382 |
| 100 | 1 | _aКиреев, В. Ю. | |
| 245 | 1 | 0 |
_aЭлектроника : _b36 Плазмихимическое и ионно-химическое травление микроструктур / _cВ. Ю. Киреев, Б. С. Данилин |
| 260 |
_aМосква : _bРадио и связь, _c1983. |
||
| 300 | _aВыпуск 36 | ||
| 505 | 0 |
_gВыпуск 36 (1983, 128 с.) _tПлазмихимическое и ионно-химическое травление микроструктур |
|
| 650 | 1 | 4 |
_aЭлектроника _x36 Плазмихимическое и ионно-химическое травление микроструктур |
| 700 | 1 |
_aКиреев В. Ю. _eавт. _4aut |
|
| 700 | 1 |
_aДанилин Б. С. _eавт. _4aut |
|
| 700 | 1 |
_aВолкова И. М. _eред. _4edt |
|
| 942 |
_2udc _cBK |
||
| 999 |
_c7386 _d7386 |
||