| 000 | 00528cam a2200193Ka 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 5987 | ||
| 003 | CONS | ||
| 005 | 20230315102544.0 | ||
| 008 | 070101s rus d | ||
| 041 | 0 | _arus | |
| 082 | 0 | 4 | _a535.5 |
| 245 | 0 | 0 | _aОсновы эллипсометрии / |
| 260 |
_aНовосибирск / _bНаука, _c1979. |
||
| 300 | _a424 с. | ||
| 504 | _aБиблиогр.: с. 375-419 | ||
| 650 | 1 | 4 | _aЭллипсометрия |
| 700 | 1 |
_aСпиридонова,Л.Н. _eред. _4edt |
|
| 942 |
_2udc _cBK |
||
| 999 |
_c5983 _d5983 |
||