000 00694cam a2200217Ka 4500
001 5348
003 CONS
005 20230315095431.0
008 070101s rus d
041 0 _arus
082 0 4 _a539.293
100 1 _aВладимиров,В.В.
245 1 0 _aПлазма полупроводников /
_cВ.В.Владимиров, А.Ф.Волков, Е.З.Мейлихов
260 _aМосква :
_bАтомиздат ,
_c1979.
300 _a256 с.
504 _aБиблиогр.:в конце глав
650 1 4 _aПлазма полупроводников
700 1 _aВолков,А.Ф.
700 1 Мейлихов,Е.З.
942 _2udc
_cBK
999 _c5344
_d5344