| 000 | 00640cam a2200205Ka 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 5181 | ||
| 003 | CONS | ||
| 005 | 20230315094309.0 | ||
| 008 | 070101s rus d | ||
| 041 | 0 | _arus | |
| 082 | 0 | 4 | _a539.293:629.782 |
| 100 | 1 | _aСалли,И.В. | |
| 245 | 1 | 0 |
_aПроизводство полупроводникового кремния / _cИ.В.Салли, Э.С.Фалькевич |
| 260 |
_aМосква : _bМеталлургия, _c1970. |
||
| 300 | _a152 с. | ||
| 504 | _aБиблиогр.: с. 141-150 | ||
| 650 | 1 | 4 | _aПолупроводникы |
| 700 | 1 | _aФалькевич,Э.С. | |
| 942 |
_2udc _cBK |
||
| 999 |
_c5177 _d5177 |
||