| 000 | 00594cam a2200193Ka 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 5143 | ||
| 003 | CONS | ||
| 005 | 20230315094136.0 | ||
| 008 | 070101s rus d | ||
| 041 | 0 | _arus | |
| 082 | 0 | 4 | _a539.235:669.71 |
| 100 | 1 | _aДаникин,Б.С. | |
| 245 | 1 | 0 |
_aВакуумное нанесение тонких пленок / _cБ.С.Данилин |
| 260 |
_aМосква : _bЭнергия , _c1967. |
||
| 300 | _a312 с. | ||
| 504 | _aБиблиогр.: с. 304-311 | ||
| 650 | 1 | 4 | _aВакуумное нанесение тонких пленок |
| 942 |
_2udc _cBK |
||
| 999 |
_c5139 _d5139 |
||