| 000 | 00654cam a2200205Ka 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 5142 | ||
| 003 | CONS | ||
| 005 | 20230315094136.0 | ||
| 008 | 070101s rus d | ||
| 041 | 0 | _arus | |
| 082 | 0 | 4 | _a539.234 |
| 100 | 1 | _aИванов,Р.Д. | |
| 245 | 1 | 0 |
_aКатодный метод создания пленочных элемнтов микросхем / _cР.Д.Иванов |
| 260 |
_aМосква : _bЭнергия, _c1972. |
||
| 300 | _aВыпуск 1 | ||
| 440 | 0 | _aБиблиотека радиотехнолога | |
| 504 | _aБиблиогр.: с. 105-109 | ||
| 650 | 1 | 4 | _aКатодный метод |
| 942 |
_2udc _cBK |
||
| 999 |
_c5138 _d5138 |
||