000 00756cam a2200205Ka 4500
001 49299
003 CONS
005 20230315174235.0
008 070101s rus d
041 0 _arus
082 0 4 _a621,382,2/3 Г 124
100 1 _aГаврилов, Р. А.
245 1 0 _aТехнология производства полупроводниковых приборов/
_cР. А. Гаврилов, А. М. Скворцов,
260 _aЛенинград:
_bЭнергия,
_c1968.
300 _a240 с.
504 _aБиблиогр.:с, 229-237
650 1 4 _aТехнология производства полупроводниковых приборов
700 1 _aСкворцов, А. М.
942 _2udc
_cBK
999 _c48925
_d48925