000 00616cam a2200193Ka 4500
001 49278
003 CONS
005 20230315174225.0
008 070101s rus d
041 0 _arus
082 0 4 _a621,382 М 316
100 1 _aМаслов, А. А.
245 1 0 _aТехнология и конструкции полупроводниковых приборов/
_cА. А. Маслов,
260 _aМосква:
_bЭнергия,
_c1970,
300 _a296с.
504 _aБиблиогр.: с.283-284
650 1 4 _aТехнология и конструкции
942 _2udc
_cBK
999 _c48904
_d48904