000 00660cam a2200193Ka 4500
001 35001
003 CONS
005 20230315171349.0
008 070101s rus d
041 0 _arus
082 0 4 _a621.52 К
100 1 _aКондратьев, А. Б.
245 1 0 _aТехнология полупроводникового и электровакуумного машиностроения/
_cА. Б. Кондратьев,
260 _aМосква:
_bВысшая школа,
_c1969.
300 _a524 с.
504 _aБиблиогр.: с.520-521
650 1 4 _aТехнология машиностроения
942 _2udc
_cBK
999 _c34730
_d34730