000 00751cam a2200217Ka 4500
001 29844
003 CONS
005 20230315160711.0
008 070101s rus d
041 0 _arus
082 0 4 _a621.382 Я 657
100 1 _aЯнушонис, С.
245 1 0 _aСамоформирование в полупроводниковой технологии/
_cС. Янушонис, В. Янушонение, пер. с англ.
246 3 1 _aSavaiminis formavimasis puslaidininkiu technologijoje
260 _aВильнюс:
_bМокслас,
_c1985.
300 _a192 с.
504 _aБиблиогр.: с. 184-189
650 1 4 _aПолупроводники
700 1 _aЯнушонение, В.
942 _2udc
_cBK
999 _c29637
_d29637