| 000 | 00643cam a2200205Ka 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 29551 | ||
| 003 | CONS | ||
| 005 | 20230315160151.0 | ||
| 008 | 070101s rus d | ||
| 041 | 0 | _arus | |
| 082 | 0 | 4 | _a621.382 M 135 |
| 100 | 1 | _aМазель, Е. З. | |
| 245 | 1 | 0 |
_aПланарная технология кремниевых приборов/ _cЕ. З. Мазель, Ф. П. Пресс, |
| 260 |
_aМосква: _bЭнергия, _c1974. |
||
| 300 | _a384 с. | ||
| 504 | _aБиблиогр.: с. 368-382 | ||
| 650 | 1 | 4 | _aПланарная технология |
| 700 | 1 | _aПресс, Ф. П | |
| 942 |
_2udc _cBK |
||
| 999 |
_c29344 _d29344 |
||