000 00617cam a2200205Ka 4500
001 29344
003 CONS
005 20230315155850.0
008 070101s rus d
041 1 _arus
082 0 4 _a621.38 П 381
245 0 0 _aПленочная микроэлектроника /
_cПер.с англ. М.И.Елинсона
246 3 1 _aThin microelectronics
260 _aМосква :
_bМир,
_c1968.
300 _a368 с.
504 _aБиблиогр.:с.363-364
650 1 4 _aМикроэлектроника
700 1 _aАлексеев,В.А.
_eред.
_4edt
942 _2udc
_cBK
999 _c29137
_d29137