000 00886cam a2200241Ka 4500
001 28455
003 CONS
005 20230315154451.0
008 070101s rus d
041 1 _arus
082 0 4 _a621.375 T 407
100 1 _aТилл,У.
245 1 0 _aИнтегральные схемы материалы приборы изготовление /
_cУ.Тилл, Дж.Лаксон : Пер. с англ. М.Б.Левина, В.Г.Микуцкого
246 3 1 _aIntegrated circuits :Materials,devices, and fabrication
260 _aМосква :
_bМир,
_c1985.
300 _a501 с.
504 _aБиблиогр.:в конце глав
650 1 4 _aИнтегральные схемы
700 1 _aЛаксон,Дж.
700 1 Левина,М.Б.
пер.
_4trl
700 1 Микуцкого,В.Г.
пер.
_4trl
942 _2udc
_cBK
999 _c28249
_d28249