000 00749cam a2200229Ka 4500
001 28094
003 CONS
005 20230315153806.0
008 070101s rus d
041 0 _arus
082 0 4 _a621.375.826 Э 410
245 0 0 _aЭксимерные лазеры/
_cПер. с англ. М. З. Новгородов, П. Л. Рубин,
246 3 1 _aExcimer lasers
260 _aМосква:
_bМир,
_c1981.
300 _a248 с.
504 _aБиблиогр.: в конце глав
650 1 4 _aЭксимерные лазеры
700 1 _aНовгородов, М. З.
_eпер
_4trl
700 1 Рубин,П. Л.
пер
_4trl
700 1 _aКуксенко,А. Н.
ред
_4edt
942 _2udc
_cBK
999 _c27895
_d27895