000 00714cam a2200205Ka 4500
001 27766
003 CONS
005 20230315152830.0
008 070101s rus d
041 0 _arus
082 0 4 _a621.382.13 К 934
100 1 _aКурносов, А. И.
245 1 0 _aТехнология производства полупроводниковых приборов/
_cА. И. Курносов, В. В. Юдин,
260 _aЛенинград:
_bСудостроение,
_c1965.
300 _a248 с.
504 _aБиблиогр.: с.244-245
650 1 4 _aТехнология полупроводниковых приборов
700 1 _aЮдин, В. В.
942 _2udc
_cBK
999 _c27568
_d27568