| 000 | 00694cam a2200205Ka 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 27754 | ||
| 003 | CONS | ||
| 005 | 20230315152805.0 | ||
| 008 | 070101s rus d | ||
| 041 | 0 | _arus | |
| 082 | 0 | 4 | _a621.382.2/3 Г 124 |
| 100 | 1 | _aГаврилов, Р. А. | |
| 245 | 1 | 0 |
_aТехнология производства полупроводниковых приборов/ _cР. А. Гаврилов, А. М. Скворцов, |
| 260 |
_aЛенинград: _bЭнергия, _c1968. |
||
| 300 | _a240 с. | ||
| 504 | _aБиблиогр.: с.229-237 | ||
| 650 | 1 | 4 | _aТехнологические процесы |
| 700 | 1 | _aСкворцов,А. М. | |
| 942 |
_2udc _cBK |
||
| 999 |
_c27556 _d27556 |
||