| 000 | 00803cam a2200217Ka 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 27569 | ||
| 003 | CONS | ||
| 005 | 20230315152519.0 | ||
| 008 | 070101s rus d | ||
| 041 | 0 | _arus | |
| 082 | 0 | 4 | _a621.382.8 C 718 |
| 245 | 0 | 0 | _aСпециальное технологическое оборудование микроэлектроники / |
| 260 |
_aМосква : _bЭлектроника, _c1971. |
||
| 300 | _a160 с. | ||
| 440 | 0 |
_aТруды конференции по элетрконной технике _vВыпуск 3(29) |
|
| 504 | _aБиблиогр.:в конце глав | ||
| 650 | 1 | 4 | _aМикроэлектроника |
| 700 | 1 |
_aКлючникова,В.П. _eред. _4edt |
|
| 700 | 1 |
_аКрасовская,Л.А. _еред. _4edt |
|
| 942 |
_2udc _cBK |
||
| 999 |
_c27379 _d27379 |
||