000 00665cam a2200205Ka 4500
001 27405
003 CONS
005 20230315152421.0
008 070101s rus d
041 1 _arus
082 0 4 _a621.382.8 T 384
245 0 0 _aТехнология ионного легирования /
_cПер.с япон.В.Ф.Овчарова
260 _aМосква :
_bСоветское радио,
_c1974.
300 _a160 с.
504 _aБиблиогр.:с.140-156
650 1 4 _aИонного легирования
700 1 _aЛисина,М.М.
_eред.
_4edt
700 1 _aОвчарова,В.Ф.
_eпер.
_4trl
942 _2udc
_cBK
999 _c27221
_d27221