000 | 00665cam a2200205Ka 4500 | ||
---|---|---|---|
001 | 27405 | ||
003 | CONS | ||
005 | 20230315152421.0 | ||
008 | 070101s rus d | ||
041 | 1 | _arus | |
082 | 0 | 4 | _a621.382.8 T 384 |
245 | 0 | 0 |
_aТехнология ионного легирования / _cПер.с япон.В.Ф.Овчарова |
260 |
_aМосква : _bСоветское радио, _c1974. |
||
300 | _a160 с. | ||
504 | _aБиблиогр.:с.140-156 | ||
650 | 1 | 4 | _aИонного легирования |
700 | 1 |
_aЛисина,М.М. _eред. _4edt |
|
700 | 1 |
_aОвчарова,В.Ф. _eпер. _4trl |
|
942 |
_2udc _cBK |
||
999 |
_c27221 _d27221 |