000 00625cam a2200205Ka 4500
001 26996
003 CONS
005 20230315151752.0
008 070101s rus d
041 0 _arus
082 0 4 _a621.3.049.77 П 38
245 0 0 _aПленочная микроэлектроника/
Пер. с англ.
246 3 1 _aThin film microelectronics
260 _aМосква:
_bМир,
_c1968.
300 _a368 с.
504 _aБиблиогр.:с. 363-364
650 1 4 _aПленочная микроэлектроника
700 1 _aАлексеев, В. А.
_eред
_4edt
942 _2udc
_cBK
999 _c26817
_d26817