| 000 | 00654cam a2200205Ka 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 22988 | ||
| 003 | CONS | ||
| 005 | 20230315135649.0 | ||
| 008 | 070101s rus d | ||
| 041 | 0 | _arus | |
| 082 | 0 | 4 | _a621.3.049 |
| 100 | 1 | _aКорнилов,Р.В. | |
| 245 | 1 | 0 |
_aРасчет комплексов оборудования микроэлектроники / _cР.В.Корнилов, В.Л.Сандеров |
| 260 |
_aМосква : _bЭнергия , _c1979. |
||
| 300 | _a104 с. | ||
| 504 | _aБиблиогр.:с.101-103 | ||
| 650 | 1 | 4 | _aМикроэлектроника |
| 700 | 1 | _aСандеров,В.Л. | |
| 942 |
_2udc _cBK |
||
| 999 |
_c22867 _d22867 |
||