TY  - BOOK
AU  - Киреев,В.Ю.
AU  - Киреев В.Ю.
AU  - Данилин Б.С.
AU  - Волкова И.М.
TI  - Электроника: 36 Плазмихимическое и ионно-химическое травление микроструктур 
U1  - 621.382 
PY  - 1983///
CY  - Москва
PB  - Радио и связь
KW  - Электроника
KW  - 36 Плазмихимическое и ионно-химическое травление микроструктур
N1  - Выпуск 36 (1983, 128 с.); Плазмихимическое и ионно-химическое травление микроструктур
ER  -