Киреев, В. Ю. <br/><br/>
Электроника :  36 Плазмихимическое и ионно-химическое травление микроструктур / 
В. Ю. Киреев, Б. С. Данилин 
 - Москва :  Радио и связь,  1983. 
 - Выпуск 36 
<br/><br/> Плазмихимическое и ионно-химическое травление микроструктур  Выпуск 36 (1983, 128 с.) 
<br/><br/><label>Subjects--Topical Terms: </label><br/>Электроника--36 Плазмихимическое и ионно-химическое травление микроструктур
<br/><br/><label>Dewey Class. No.: </label>621.382