TY  - BOOK
AU  - Машарова,В.Г.
AU  - Елинсона,М.И.
AU  - 
TI  - Технология тонких пленок
U1  - 539.216(031) 
PY  - 1977///
CY  - Москва
PB  - Советское радио
KW  - Технология тонких пленок
N1  - Книга 1 ( 1977, 664 с., Библиогр .: в конце глав ); Технология тонких пленок
ER  -