TY  - BOOK
AU  - Риссел,Х.
AU  - Руге,И.
AU  - 
AU  - 
TI  - Ионная имплатация
U1  - 539.1 
PY  - 1983///
CY  - Москва
PB  - Наука
KW  - Ионная имплатация
N1  - Библиогр.: с. 345-359
ER  -