TY  - BOOK
AU  - Салли,И.В.
AU  - Фалькевич,Э.С.
TI  - Производство полупроводникового кремния
U1  - 539.293:629.782 
PY  - 1970///
CY  - Москва
PB  - Металлургия
KW  - Полупроводникы
N1  - Библиогр.: с. 141-150
ER  -