TY  - BOOK
AU  - Даникин,Б.С.
TI  - Вакуумное нанесение тонких пленок
U1  - 539.235:669.71 
PY  - 1967///
CY  - Москва
PB  - Энергия
KW  - Вакуумное нанесение тонких пленок
N1  - Библиогр.: с. 304-311
ER  -