Даникин,Б.С. Вакуумное нанесение тонких пленок / Б.С.Данилин - Москва : Энергия , 1967. - 312 с. Библиогр.: с. 304-311 Subjects--Topical Terms: Вакуумное нанесение тонких пленок Dewey Class. No.: 539.235:669.71