Иванов,Р.Д. <br/><br/>
Катодный метод создания пленочных элемнтов микросхем / 
Р.Д.Иванов 
 - Москва :  Энергия,  1972. 
 - Выпуск 1 
 - Библиотека радиотехнолога .
<br/><br/>Библиогр.: с. 105-109 
<br/><br/><label>Subjects--Topical Terms: </label><br/>Катодный метод
<br/><br/><label>Dewey Class. No.: </label>539.234