TY  - BOOK
AU  - Гаврилов,Р.А.
AU  - Скворцов,А.М.
TI  - Технология  производства полупроводниковых приборов
U1  - 621,382,2/3 Г 124 
PY  - 1968///
CY  - Ленинград
PB  - Энергия
KW  - Технология  производства полупроводниковых приборов
N1  - Библиогр.:с, 229-237
ER  -