Гаврилов, Р. А.  <br/><br/>
Технология  производства полупроводниковых приборов/ 
Р. А.  Гаврилов,   А. М. Скворцов, 
 - Ленинград:  Энергия,  1968. 
 - 240 с. 
<br/><br/>Библиогр.:с, 229-237 
<br/><br/><label>Subjects--Topical Terms: </label><br/>Технология  производства полупроводниковых приборов
<br/><br/><label>Dewey Class. No.: </label>621,382,2/3 Г 124