TY  - BOOK
AU  - Мазель,Е.З.
AU  - Пресс,Ф.П
TI  - Планарная технология кремниевых приборов
U1  - 621.382 M 135 
PY  - 1974///
CY  - Москва
PB  - Энергия
KW  - Планарная технология
N1  - Библиогр.: с. 368-382
ER  -