Мазель, Е. З.   <br/><br/>
Планарная технология кремниевых приборов/ 
Е. З.  Мазель,  Ф. П. Пресс, 
 - Москва:  Энергия,  1974. 
 - 384 с. 
<br/><br/>Библиогр.: с. 368-382 
<br/><br/><label>Subjects--Topical Terms: </label><br/>Планарная технология 
<br/><br/><label>Dewey Class. No.: </label>621.382 M 135