TY  - BOOK
AU  - Алексеев,В.А.
TI  - Пленочная микроэлектроника
U1  - 621.38 П 381 
PY  - 1968///
CY  - Москва
PB  - Мир
KW  - Микроэлектроника
N1  - Библиогр.:с.363-364
ER  -