Пленочная микроэлектроника / 
 Thin microelectronics 
Пер.с англ. М.И.Елинсона 
 - Москва :  Мир,  1968. 
 - 368 с. 
<br/><br/>Библиогр.:с.363-364 
<br/><br/><label>Subjects--Topical Terms: </label><br/>Микроэлектроника
<br/><br/><label>Dewey Class. No.: </label>621.38 П 381