TY  - BOOK
AU  - Тилл,У.
AU  - Лаксон,Дж
AU  - 
AU  - 
TI  - Интегральные схемы материалы приборы изготовление
U1  - 621.375 T 407 
PY  - 1985///
CY  - Москва
PB  - Мир
KW  - Интегральные схемы
N1  - Библиогр.:в конце глав
ER  -