Тилл,У. <br/><br/>
Интегральные схемы материалы приборы изготовление / 
 Integrated circuits :Materials,devices, and fabrication 
У.Тилл, Дж.Лаксон : Пер. с англ. М.Б.Левина, В.Г.Микуцкого 
 - Москва :  Мир,  1985. 
 - 501 с. 
<br/><br/>Библиогр.:в конце глав 
<br/><br/><label>Subjects--Topical Terms: </label><br/>Интегральные схемы 
<br/><br/><label>Dewey Class. No.: </label>621.375 T 407