TY  - BOOK
AU  - Зворыкин,Д.Б.
TI  - Оборудование полупроводникового производства
U1  - 621.382 О 224 
PY  - 1981///
CY  - Москва
PB  - Радио и связь
KW  - Оборудование
N1  - Библиогр.: с. 330-333
ER  -