Гаврилов, Р. А.  <br/><br/>
Технология производства полупроводниковых приборов/ 
Р. А. Гаврилов, А. М. Скворцов, 
 - Ленинград:  Энергия,  1968. 
 - 240 с. 
<br/><br/>Библиогр.: с.229-237 
<br/><br/><label>Subjects--Topical Terms: </label><br/>Технологические процесы
<br/><br/><label>Dewey Class. No.: </label>621.382.2/3 Г 124