TY  - BOOK
AU  - Буракова,О.Н.
AU  - Вальд-Перлов,В.М.
AU  - Ефимов,Е.А.
AU  - Татаренков,А.И.
TI  - Производство полупроводниковых приборов
U1  - 621.382.24 П 801 
PY  - 1962///
CY  - Москва
PB  - Оборонгиз
KW  - Производство полупроводниковых приборов
N1  - Библиогр.: в конце глав
ER  -