TY  - BOOK
AU  - Ключникова,В.П.
AU  - 
TI  - Специальное технологическое оборудование микроэлектроники
U1  - 621.382.8 C 718 
PY  - 1971///
CY  - Москва
PB  - Электроника
KW  - Микроэлектроника
N1  - Библиогр.:в конце глав
ER  -