TY  - BOOK
AU  - Лисина,М.М.
AU  - Овчарова,В.Ф.
TI  - Технология ионного легирования
U1  - 621.382.8 T 384 
PY  - 1974///
CY  - Москва
PB  - Советское радио
KW  - Ионного легирования
N1  - Библиогр.:с.140-156
ER  -