Технология ионного легирования / 
Пер.с япон.В.Ф.Овчарова 
 - Москва :  Советское радио,  1974. 
 - 160 с. 
<br/><br/>Библиогр.:с.140-156 
<br/><br/><label>Subjects--Topical Terms: </label><br/>Ионного легирования 
<br/><br/><label>Dewey Class. No.: </label>621.382.8 T 384