TY  - BOOK
AU  - Алексеев,В.А.
TI  - Пленочная микроэлектроника
U1  - 621.3.049.77 П 38 
PY  - 1968///
CY  - Москва
PB  - Мир
KW  - Пленочная микроэлектроника
N1  - Библиогр.:с. 363-364
ER  -