TY  - BOOK
AU  - Иванов-есипович,Н.К.
TI  - Инженерные основы пленочной микроэлектроники
U1  - 621.382.8 И 205 
PY  - 1968///
CY  - Ленинград
PB  - Энергия
KW  - Микроэлектроники
N1  - Библиогр.; с.168-173
ER  -