Жаботинский,Ю.Д. <br/><br/>
Адаптивные промышленные роботы и их применение в микроэлектронике / 
Ю.Д.Жаботинский, Ю.В.Исаев 
 - Москва :  Радио и связь,  1985. 
 - 104 с. 
 - Массовая библиотека инженера  Выпуск 48 .
<br/><br/>Библиогр.:с.101-105 
<br/><br/><label>Subjects--Topical Terms: </label><br/>Микроэлектроника
<br/><br/><label>Dewey Class. No.: </label>621.365