Мэдленд, Г. Р. Интегральные схемы: Основы проектирования и технология/ Integrated Circuit Engineering. Basic Technology Г. Р. Мэдленд, Г. К. Дикен и др.; Пер. с англ. под ред. К. И. Мартюшова - Москва: Советское радио, 1970. - 592 с. Subjects--Topical Terms: Технология изготовления интегральных схем Dewey Class. No.: 681.32