TY  - BOOK
AU  - Мягков,А.Т.
AU  - Корсетов,Е.М.
TI  - Химико-технологическая аппаратура микроэлектроники
U1  - 621.3.049 
PY  - 1979///
CY  - Москва
PB  - Энергия
KW  - Микроэлектроника
N1  - Библиогр.:с.305-310
ER  -